干净室内之污染路来历，经测试阐明成就，功课人员占约80%。试验数据显示，功课人员收支干净室时灰尘有明明增加，有人行动时，干净度立即劣化，可见干净度劣化之原因人是主要因素。 

干净室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、旷地进入、修建物、事情服、风管资料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、事恋人员、对象、加工制程、隔间资料、事情桌、包装资料等。 

对硅芯片而言，微尘粒子之附着将形成集成电蹊径路的变形或短路，使芯片失掉运作坚守，因此微污染源已成为干净室治理的重要环节。

微污染防控，其根基原则有四：    

1、外部灰尘侵入之制止干净室得当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原资料搬入干净室前先做好洁净擦洗等防尘行动，氛围过滤器得当的治理和配置。    

2、室内发尘之制止隔间板、地板等干净室资料的得当选用、制程设备的发尘、出产自动化及人员不聚积、行动放松、干净衣的治理、利用干净室容器等。    

3、室内发尘之不积留墙面体应平滑无死角、干净室需按期调养和拂拭、制程设备附近应留有空间。   

4、产生灰尘之解除换气次数应足够，净化工程，得当的空间安放以及污染源接排气和空调的气流速度须得当。人、物入室的治理问题、实际的功课条件和工程治理相关之问题、室内之空调及拂拭接洽之问题。